• Турбулентно вентилируемые чистые помещения обычно соответствуют классу ISO 4 (класс 1000) или ниже. Маловероятно, что производимые в них изделия окажутся восприимчивы к микрозагрязнениям из-за аэрозолей, осевших внутри фильтров при испытаниях, и поэтому при их проверке можно использовать тестовые аэрозоли типа масляного тумана. В этих случая обычно применяются фотометры.
• Проблема проверки системы фильтров, размещенных на потолке чистого помещения с однонаправленным воздушным потоком, заключается в том, что площадь потолка может быть настолько велика, что эта операция потребует значительного времени. Так, испытания фильтров в одном чистом помещении крупного предприятия по производству полупроводников могут занять несколько дней.
Прежде чем приступать к проверке целостности фильтров, необходимо подумать о противопожарной сигнализации. Дело в том, что тестовый аэрозоль, полученный с помощью генератора частиц, способен вызвать срабатывание датчиков противопожарной сигнализации, реагирующих на дым, особенно если испытания проводятся внутри чистого помещения (например, проверяются ламинарные шкафы или другие герметичные устройства). Поэтому следует проанализировать возможность и порядок отключения датчиков противопожарной сигнализации. Лучше отключить их на период проведения испытаний фильтров, чем пребывать в состоянии тревожного ожидания прибытия пожарной бригады или принимать душ в струях спринклерных распылителей.
ФОТОМЕТР
Типичный аэрозольный фотометр имеет скорость пробоотбора анализируемой среды 28 л/мин (1 куб.фут/мин). Частицы аэрозоля проходят через пробоотборное устройство и измерительный объём, в который направляется свет от источника излучения. Свет, рассеянный частицами, собирается системой линз и направляется на фотоумножитель, который преобразует световой сигнал в электрический.
Фотометры обычно измеряют концентрацию частиц в диапазоне от 0,0001 мкг/л до 100 мкг/л. Показания таких приборов зависят не только от количества частиц, но и от их размера, т.е. от их массы.
Частью программы испытаний чистого помещения является определение соответствия качества подаваемого в чистое помещение воздуха решаемой задаче, т.е. специфике проводимых в нем работ. Высокоэффективные фильтры должны обеспечивать эффективное улавливание частиц из поступающего воздуха. Значения эффективности фильтров должны соответствовать величинам, заложенным в проект чистого помещения, однако измерение эффективности фильтров в данной главе не рассматривается.
Из-за трудности получения тестовых аэрозолей с большой концентрацией частиц с помощью сопел Ласкина при проверке фильтров часто используют масляный туман, генерируемый конденсационным методом. Дополнительным преимуществом этого метода является то, что в этом случае не нужны воздуходувки, так как сопла Ласкина, особенно в генераторах с несколькими распылителями, требуют слишком большого расхода воздуха, что непрактично, в особенности для портативных конструкций.
Диоктилфталат (DOP) – маслянистая жидкость, которая раньше применялась для испытания фильтров. В силу обнаруженной у DOP потенциальной токсичности, это вещество во многих странах больше не рекомендуется к применению. В настоящее время используются такие вещества, как диоктилсебацинат (DOS), минеральное масло Shell Ondina, полиальфаолефин (РАО) и диэтилгексилсебацинат (DEHS).
